Interferometer von DYNEOS AG

Die Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP sind Einbaumessgeräte und dienen der Präzisionslängenmessung. Die Miniaturisierung des Sensorkopfes erlaubt die Anwendung als fest installiertes Messsystem. Als Messreflektor können Planspiegel oder reflektierende Oberflächen optischer Qualität verwendet werden. Die Zuführung des Laserlichtes zum Sensorkopf erfolgt über Lichtwellenleiter (LWL). Das Miniaturinterferometer wandelt die Messbewegung des Planspiegels in Richtung der optischen Achse des Messstrahles in ein Interferenzsignal. Das interferenz-optische Signal wird zur optoelektronischen Auswerte- und Versorgungseinheit übertragen und als Messergebnis zur Verfügung gestellt. Die Bedienung und Anzeige erfolgt wahlweise über ein separates Display oder einen PC mit optionaler Software.

Als Varianten vom Grundgerät bieten wir Zwei- und Dreistrahl-Interferometer von SIOS Meßtechnik an, welche in einem Gerät zwei bzw. drei Interferometer vereinen. Damit können simultan zwei/drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochgenau bestimmen. Die Winkelmessbereiche für den Nick- und den Gierwinkel betragen etwa zwei Minuten. Ein He-Ne-Laser mit hoher Frequenzstabilität versorgt alle drei Interferometer. Damit besitzen die drei Messsysteme dasselbe Wellenlängennormal. Die Laserstrahlung wird mit nur einem Lichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelt. Eine weitere Variante benutzt ein Prisma als Reflektor, wodurch die Justierung vereinfacht wird und grössere Winkelabweichungen toleriert werden.