Tische mit Luftlager von DYNEOS AG

Luftlagertische werden eingesetzt, wenn die Bewegung schwingungsfrei ausgeführt werden muss, wenn die Geschwindigkeit besonders konstant sein muss, und ein Verkippen der bewegten Plattform vermieden werden soll. Luftlager minimieren Reibung, Verschleiß und Umkehrspiel. Die linearen, rotatorischen und halbkugelförmigen PIglide Luftlager sind Präzisionskomponenten zur Integration und optionalen Motorisierung in OEM, industriellen oder Forschungsanwendungen.
Die PIglide Luftlager-Technologie bietet reibungsfreie Präzisionspositionierung im Nanometer Bereich. Dies ermöglicht ein gleichmässiges Scannen mit hoher Geschwindigkeit durch direktgetriebene Linear- und Torquemotoren, hohe Führungsgenauigkeiten und aktive Führungsfehler-Kompensation für Gantry-Aufbauten.

Das Portfolio der Luftlager Tische umfasst Lineartische, die reinraumtauglich sind und eine Beschleunigung von bis zu 80m/s² und Stellwege von 25mm bis 750mm erlauben. XY-Positioniersysteme mit bis zu 500mm x 1000mm Stellweg, hohe Belastbarkeiten von bis zu 245N, Geschwindigkeiten von bis zu 2m/s und Beschleunigungen von bis zu 27,5m/s². Die luftgelagerten Drehtische haben einen Plattformdurchmesser zwischen 50mm und 300mm, Belastbarkeit von bis zu 4'170N und maximale Geschwindigkeiten von 2'500rpm.
Einsatzgebiete sind hochpräzise Anwendungen wie Messtechnik, Photonik, Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung, optische Justage, Inspektionssysteme und Mikroskopie.